纳米表面设计高性能计算集群
万级洁净间
电子回旋照射纳米表面加工系统(自研发)
表面台阶仪
摩擦磨损表面形貌与纳米位移检测仪
快速扫描原子力显微镜划痕仪
环境可控超低摩擦测试系统
AFM针尖增强拉曼光谱仪
探测器光谱响应测试仪
高精度探针台-薄膜半导体测试仪
多功能物理性能测试系统
离子减薄仪
透射电镜原位摩擦测试仪